測定媒体温度が-10℃から最高300℃まで対応
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。特徴として、測定媒体温度が-10℃から最高300℃(環境温度:-10〜250℃)まで対応しております。ボディへはSUS316L材を採用し接ガス(液)部へは電解研磨処理を施しております。また、ダイヤフラムにハステロイ材を採用しており、非常に優れた耐食性を有します。精度が±1%F.S.と高精度です。さらに真空引きにも対応しております。配管接続はストレート、Tアングルの2タイプで、各種継手への対応が可能です。クリーン二重梱包にて出荷致します。なお、出力信号については、増幅回路部が外部取り付け方式(標準付属)にて4〜20mA、0〜5Vから選択頂けます。その他、高精度圧力センサー、ケミカル用圧力センサー(接液部にテフロンを使用)など様々な圧力センサー、および表示器を取り揃えております。
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基本情報
【製品特徴】 ・測定媒体温度最高300℃まで対応(周辺温度:250℃) ・オイルレス(シリコンオイル等は一切未使用) ・高耐蝕性(接ガス(液)部:SUS316L材/ダイヤフラム部:ハステロイ) ・温度補償回路内蔵 ・真空引き対応可能 ・精度±1%FS
価格情報
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納期
用途/実績例
半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など
企業情報
株式会社ピー・ジェイは、(株)ピュアロンジャパンの総販売元として設立されました。(株)ピー・ジェイは全力を尽くしてピュアロン製品を世界に発信して参ります。 取扱商品 1.(株)ピュアロンジャパン製品全て ・セラミックガスフィルター ・メタルガスフィルター ・ハステロイガスフィルター ・PTFEガスフィルター ・ハイブリッドフィルター ・ガス精製器 ・ヒーター ・リキッドフィルター ・圧力センサー ・表示器 ・温度センサー ・微差圧計 ・比抵抗率計 ・デジタルフローコントロールシステム 2.半導体製造装置用及び一般産業機器向け流体制御機器部品