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型蒸着装置 - 企業1社の製品一覧

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斜入射型蒸着装置

基板入射に対応する円弧型レール上に任意位置で固定可能!蒸着ポジションを調整できます

当製品は、アタッチメントフリーのKセルおよびコニカル型蒸着源を 備えた基板入射角可変型蒸着装置です。 任意の基板入射に対応する円弧型レール上に、任意位置で固定可能。 蒸着ポジションを調整することができます。 【Kセル】 ■ルツボ容量:2cc ■加熱温度:Max1 200℃ ■加熱制御電源 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 蒸着装置

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