斜入射型蒸着装置
基板入射に対応する円弧型レール上に任意位置で固定可能!蒸着ポジションを調整できます
当製品は、アタッチメントフリーのKセルおよびコニカル型蒸着源を 備えた基板入射角可変型蒸着装置です。 任意の基板入射に対応する円弧型レール上に、任意位置で固定可能。 蒸着ポジションを調整することができます。 【Kセル】 ■ルツボ容量:2cc ■加熱温度:Max1 200℃ ■加熱制御電源 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:ケニックス株式会社
- 価格:応相談