基板対応装置 - メーカー・企業と製品の一覧

大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。

• 企業：神港精機株式会社 東京支店
• 価格：応相談

• スパッタリング装置
• エッチング装置
• アニール炉