基板搬送装置
精度要求、スペース、生産性を考慮し、最適な『搬送する』技術を提供します。
１．コンベアで搬送する ・0.12mmの薄いフィルム、2 2000mm×2 500mmの大型ガラスの搬送を実現 ・CCDカメラを搭載した高精度アライメント機能、任意角度への回転機構に対応 ２．ステージで搬送する ・平面度20μmのフラットステージ、静電気対策に有効なピンステージをラインナップ ・ピッチング精度±0.05°、ヨーイング精度±0.02°の高精度搬送に対応 ３．SCARAで搬送する ・限定された設置範囲や可搬重量に合わせたSCARA搬送の設計・製作が可能 ・既成SCARAを搭載した上位通信システム対応の搬送システムも製作 ４．R2R（ロール トゥ ロール）搬送 ・フィルムロールの連続送り・ピッチ送り制御システム
- 企業：プレマテック株式会社
- 価格：応相談
