測定器・変位センサ 改善事例集＜半導体業界編＞
ウェハZ軸位置決めや、ウェハ厚み測定などの改善事例をご紹介！
当資料は、半導体業界における測定器・変位センサの改善事例集です。 ウェハダイシング深さ測定やBGAバンプの形状測定、スパッタリング ターゲットの磨耗量測定、真空チャンバ内アーム曲がり測定、モールド 前のチップの高さ測定など、様々な事例を掲載。 その他にも、当社で取り扱う、測定器・変位センサもご紹介しており、 製品選定の際に参考になる一冊となっております。 【掲載事例(一部)】 ■ウェハZ軸位置決め ■ウェハ厚み測定 ■ウェハダイシング深さ測定 ■BGAバンプの形状測定 ■ワイヤボンディング高さ測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社キーエンス
- 価格：応相談
