単一電極静電容量センサー D-510 微細位置測定向け
分解能1 nm未満・最大帯域10 kHzの非接触変位計測センサー
D-510 PISecaは、最大測定範囲500µm・分解能1nm未満を実現する単一電極静電容量センサーです。 センサープローブはLEMOコネクタ付きで取り付けが容易。 ガードリング電極によって電場の均一性が確保され、高リニアリティ（最大0.1%）を達成しています。 E-852.10等の専用エレクトロニクスと組み合わせることで、静的・動的分解能ともに優れたナノメートル級の変位測定が可能です。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
