精密・多軸ステージ
【実例】FPDや太陽電池製造などの大型ステージの精密制御
FPDや太陽電池製造などの大型ステージの精密制御にもファインモーションは使われています。 ステージの大型化と精密化に伴い、ヨーイング・うねり・直角度などの機構補正が重要です。 また、平行軸(ガントリ)制御や特殊な多軸制御、さらには軸動作と同期したヘッド制御など、緻密モーション制御と豊富なモーション機能により実現。 FPD製造設備、太陽電池の製造設備、高速・高精度ステージ、高速レーザ加工機等に適しています。 詳しくはお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社テクノ
- 価格:応相談