QSESの安全評価について 「Ｆ47/Ｆ42評価サービス」
どこよりも早く『電圧降下（F47/F42）試験』に対応し、対策からレポート作成までフルサポート。
QSESの安全評価について「Ｆ47/Ｆ42評価サービス」は、装置納入時の必須項目となりつつある『電圧降下（F47/F42）試験』に、どこよりも早く対応した試験評価サービスです。 半導体工場内において設備の故障や大きな負荷の変動により、AC供給電源が突然の電圧降下（半サイクルから数秒）を起こした状態をシュミレートし、その場合の被試験装置の耐性を評価する試験を行います。 エッチャー、CVD、CMP、洗浄機、排ガス処理装置、ステッパー、イオン注入装置、自動検査装置等のプロセス装置全てが対象で、電源容量の大きい装置にも対応しています。 さらに、対策からレポート作成までフルサポートいたします。 【特長】 ■AC供給電源が突然の電圧降下を起こした状態をシュミレートして装置の耐性を評価 ■エッチャー、CVD、CMP、洗浄機、排ガス処理装置、ステッパー、イオン注入装置、自動検査装置等のプロセス装置全てに対応 ■測定機器は単相／三相問わず、AC200V 100A/相までの装置に対応 ■試験評価は、工場など任意の場所に測定機器を持ち込んで行うことも可能 ■対策からレポート作成までフルサポート
- 企業：株式会社キューセス
- 価格：応相談
