どこよりも早く『電圧降下（F47/F42）試験』に対応し、対策からレポート作成までフルサポート。
QSESの安全評価について「Ｆ47/Ｆ42評価サービス」は、装置納入時の必須項目となりつつある『電圧降下（F47/F42）試験』に、どこよりも早く対応した試験評価サービスです。 半導体工場内において設備の故障や大きな負荷の変動により、AC供給電源が突然の電圧降下（半サイクルから数秒）を起こした状態をシュミレートし、その場合の被試験装置の耐性を評価する試験を行います。 エッチャー、CVD、CMP、洗浄機、排ガス処理装置、ステッパー、イオン注入装置、自動検査装置等のプロセス装置全てが対象で、電源容量の大きい装置にも対応しています。 さらに、対策からレポート作成までフルサポートいたします。 【特長】 ■AC供給電源が突然の電圧降下を起こした状態をシュミレートして装置の耐性を評価 ■エッチャー、CVD、CMP、洗浄機、排ガス処理装置、ステッパー、イオン注入装置、自動検査装置等のプロセス装置全てに対応 ■測定機器は単相／三相問わず、AC200V 100A/相までの装置に対応 ■試験評価は、工場など任意の場所に測定機器を持ち込んで行うことも可能 ■対策からレポート作成までフルサポート
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基本情報
【特長】 ■AC供給電源が突然の電圧降下を起こした状態をシュミレートして装置の耐性を評価 ■エッチャー、CVD、CMP、洗浄機、排ガス処理装置、ステッパー、イオン注入装置、自動検査装置等のプロセス装置全てに対応 ■測定機器は単相／三相問わず、AC200V 100A/相までの装置に対応 ■試験評価は、工場など任意の場所に測定機器を持ち込んで行うことも可能 ■対策からレポート作成までフルサポート ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
1992年、当社は原子力プラントの安全管理・品質管理に従事していたエンジニア達によって、工業機械の安全性および品質検査を行う会社として設立されました。翌1993年にはSEMIガイドライン適合評価のビジネスに着手しています。 その後、SEMIビジネスの経験とエンジニアリング・セミコンダクタ―フィールドで培ったノウハウを基にして １、第三者機関としての安全評価業務(SEMI S2/S8、CEマーキング等) ２、製品ドキュメントの作成・翻訳 ３、警告ラベルの作成・販売 といった半導体製造装置の安全性に関わるトータルサポートを行っています。 当社は設計の段階から製品の安全性を試験・評価し、安全性に対するお客様の多様な要望に『One Stop』でお答えします。その試験項目は機械・電気・EMC(電磁両立性)・F47/F42評価試験・ケミカル(トレーサーガステスト等)・圧力・環境と多様な範囲に及びます。 また製品から排除できない危険エネルギーに対しては、警告ラベルとドキュメンテーションでフォローアップいたします 安全審査・警告ラベルから製品マニュアルを含めた一貫したサービスをご提供しています
