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小型精製装置 - 企業1社の製品一覧

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超高純度ガス小型精製器

腐蝕によるパーティクルの発生や化学反応を起こしません。

(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 ユースポイントにおいて、不活性ガスや特殊ガス中に含まれる水分・酸素・ハイドロカーボンなどの不純物を、条件により最大1PPB以下まで除去します。内蔵の粗取り用フィルターメディアには全てSUS316Lを標準として使用しております。面間84mm、120gの小型・軽量タイプもございます。ガス種により350℃から400℃のベーキングによって再活性処理をすれば、完全寿命まで繰り返しご使用いただけます。

  • 半導体検査/試験装置
  • CVD装置
  • その他半導体製造装置

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