腐蝕によるパーティクルの発生や化学反応を起こしません。
(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 ユースポイントにおいて、不活性ガスや特殊ガス中に含まれる水分・酸素・ハイドロカーボンなどの不純物を、条件により最大１ＰＰＢ以下まで除去します。内蔵の粗取り用フィルターメディアには全てＳＵＳ３１６Ｌを標準として使用しております。面間８４ｍｍ、１２０ｇの小型・軽量タイプもございます。ガス種により３５０℃から４００℃のベーキングによって再活性処理をすれば、完全寿命まで繰り返しご使用いただけます。
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基本情報
【特徴】 ○精製能力は個々の不純物—最大１ＰＰＢ以下、出口側不純物合計—最大１０ＰＰＢ以下です。(条件によります) ○流量範囲は０.５〜２０ＬＰＭです。（モデル・圧力条件により異なります) ○最高使用圧力は０.９７ＭＰａです。(１４０.６５ＰＳＩＧ) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格情報
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納期
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用途／実績例
半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など
企業情報
株式会社ピー・ジェイは、(株)ピュアロンジャパンの総販売元として設立されました。(株)ピー・ジェイは全力を尽くしてピュアロン製品を世界に発信して参ります。 取扱商品 １.（株）ピュアロンジャパン製品全て ・セラミックガスフィルター ・メタルガスフィルター ・ハステロイガスフィルター ・ＰＴＦＥガスフィルター ・ハイブリッドフィルター ・ガス精製器 ・ヒーター ・リキッドフィルター ・圧力センサー ・表示器 ・温度センサー ・微差圧計 ・比抵抗率計 ・デジタルフローコントロールシステム ２.半導体製造装置用及び一般産業機器向け流体制御機器部品
