常圧焼結SiC（高純度SiC・99％）
最高使用温度1650℃。t=1mmの薄さで半導体治具や高温炉向け構造材などに好適
『常圧焼結SiC』は、大気中1650℃まで使用可能な耐熱性と 耐摩耗性を備えた、純度99％のセラミック材料です。 厚さはわずか1mmで、1000℃環境下でも35W/m・Kの高熱伝導性を発揮。 低熱膨張と高熱伝導による耐熱衝撃性で、高強度・省スペースが求められる 半導体製造装置の消耗部材や高温炉の構造材などに適しています。 【こんなお悩みに】 ◎高温環境で使用できる耐熱性に優れた部材を探している ◎薄型・軽量かつ高強度なセラミック材料を探している ◎熱効率の高い材料で装置の高性能化を図りたい ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
