微小線幅測定システム『LW-3200／MT-3200』
ご使用の顕微鏡に取り付け簡単、システムアップ！様々なエッジ検出指定が可能です
『LW-3200／MT-3200』は、半導体ウェハー、液晶カラーレジストなどの 微小線幅を3σ＝10nmの繰り返し精度で測定できるシステムです。 ネガ、ポジ、インサイド、アウトサイドなど線の種類に応じて、 様々なエッジ検出指定が可能。 傾いている線も、検出した線に対して垂直に測定ができます。 また、オプションとして簡単操作、高精度AFと組み合わせ可能です。 ※納品までに一定の期間をいただく場合がございますのでご了承ください。 【特長】 ■3σ＝10nmの繰り返し精度で測定 ■線の種類に応じて、様々なエッジ検出指定が可能 ■傾いている線も、検出した線に対して垂直に測定できる ■簡単操作、高精度AFと組み合わせ可能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社フローベル
- 価格：応相談
