1～2 件を表示 ／ 全 2 件
スタンダードモスアイ金型解説その2についてブログ形式でご紹介！
モスアイ金型のスペックの解説第二弾です。 干渉リソグラフィーの干渉波では、線上の構造しか描画できません。 しかし、二重露光を行うことによってモスアイ構造を 作り出すことができます。 図で緑色の点線は干渉波によって描かれる線を示しています。 図では、平行な点線が2種類あり互いに交差しているかと思います。 ※ブログの詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
パターンは感光性材料に記録される！マスクやスキャンプロセスの必要がない
『干渉リソグラフィ』は、パラレル工程(2本のレーザー光同士の干渉)により 広範囲においてマイクロ構造を形成できる工法です。 スプリッタで分割したUVレーザを拡大・露光し、干渉縞を形成。 また、基板を回転させてレーザの干渉を調整することで、 形成したいパターンの形を変化させることができるため、 マスクやスキャンプロセスの必要がありません。 【特長】 ■パラレル工程により広範囲においてマイクロ構造を形成 ■スプリッタで分割したUVレーザを拡大・露光し、干渉縞を形成 ■パターンは感光性材料に記録される ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
