スタンダードモスアイ金型解説その2についてブログ形式でご紹介!
モスアイ金型のスペックの解説第二弾です。 干渉リソグラフィーの干渉波では、線上の構造しか描画できません。 しかし、二重露光を行うことによってモスアイ構造を 作り出すことができます。 図で緑色の点線は干渉波によって描かれる線を示しています。 図では、平行な点線が2種類あり互いに交差しているかと思います。 ※ブログの詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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