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光学顕微鏡 透過型位相シフトレーザー干渉顕微鏡
従来の光学顕微鏡の上位に位置する新しい形式の顕微鏡で屈折率分布や厚さの構造を高速かつ定量的に計測し、3次元的に可視化できます。 【特徴】 ○レーザー干渉法を応用して、サンプルの屈折率、高さを非接触で計測することができる。 ○高速…計測時間は数秒 ○高精度…位相差計測精度 ±(1/150) λ 、屈折率差計測精度 ±0.0001 、高さ計測精度 ±0.2μm ○空間分解能…光学顕微鏡と同等 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
mm単位を超える広い面内測定範囲！多結晶セラミックスとSiC単結晶の測定事例
当社で新たに導入した、白色干渉顕微鏡による加工面の測定事例をご紹介します。 白色干渉顕微鏡は、光の干渉現象を利用して「表面形状」を計測、解析する 顕微鏡。測定対象材質を問わず、3D計測で面粗さ・線粗さに対応します。 多結晶セラミックスのワイヤースライス面からポリシング面の測定では、 スライス面Sa 0.8446 μm、ラッピング面Sa 0.2506 μm、ポリシング面 Sa 0.00583 μmという結果となりました。 また、SiC単結晶,SUS316Lのポリシング面の測定では、SiC単結晶 Sa 0.000458 μm、SUS316L Sa 0.000302 μmという結果となりました。 【白色干渉顕微鏡 特長】 ■非接触＆面測定 ・測定対象材質を問わない ・3D計測で面粗さ・線粗さに対応 ■広い測定範囲＆高分解能測定 ・mm単位を超える広い面内測定範囲 ・高さ分解能0.01nm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
