平坦ガラス - メーカー・企業と製品の一覧

厚みムラ1μm以下　FOWLPの製造不良を減らす超平坦ガラス

標準的なガラス公差では対応できない「厚みバラつき（TTV）」や「反り」の問題を解決します。

■こんなお悩みありませんか？ FOWLPやPLPなどの先端プロセス開発において、以下のような課題に直面していませんか？ ・ガラスキャリア（支持基板）のTTV（厚みバラつき）が大きく、露光装置のフォーカス（DOF）が合わない。 ・基板の微細なうねりや反りが原因で、デボンディング（剥離）時にウェハ割れが起きる。 ・サプライヤーの公差が甘く、受入検査でスペックアウトが多発している。 ミツル光学研究所の「超高精度ガラスキャリア」がその課題を解決します。 【特長1】TTV 1μm以下を保証。露光マージンを確保する「超高平坦加工」 【特長2】反りと表面粗さを制御し、剥離プロセスを最適化 【特長3】AFM・干渉計による「全数データ保証体制」 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。