平坦度検査装置 - メーカー・企業と製品の一覧

超精密ウェーハ平坦度検査装置

縦型回転・エッジグリップタイプのウェーハ用平坦度測定装置

測定基準となる超精密Ｘ軸およびθ軸 ウェーハ厚さ偏差情報に加え、ウェーハ両面の形状が解析可能となりました。

• 企業：黒田精工株式会社
• 価格：応相談

• 画像処理機器