式スパッタ装置×芝浦メカトロニクス株式会社 - 企業1社の製品一覧

後酸化式スパッタリング装置

多層の光学薄膜に最適な後酸化式スパッタリング装置です。

特長 ■後酸化方式の採用で高生産性を実現 ■優れた膜厚均一性±１％以下を実現 ■水平基板搬送による全面スパッタが可能

• 企業：芝浦メカトロニクス株式会社
• 価格：応相談

• スパッタリング装置