式スパッタ装置(成膜) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products

圧力勾配式スパッタ装置『PGS model』

低ダメージ高品質薄膜を高ルートで形成することが可能な装置についてご紹介します

『PGSモデル』は、圧力勾配現象を採用した画期的なスパッタ装置です。 高真空域でのスパッタ成膜が可能。 また、低ダメージ高品質薄膜を高ルートで形成することが可能です。 九州大学・名城大学・岡山理科大学との共同研究成果の製品と なっております。 【特長】 ■圧力勾配現象を採用 ■高真空域でのスパッタ成膜が可能 ■九州大学・名城大学・岡山理科大学との共同研究成果 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• Company：ケニックス株式会社
• Price：応相談

• その他理化学機器