【試験事例】DLC超薄膜の強さ評価
多角アルミナ粒子1.2µmを使用した試験結果を詳しく解説
大変軟らかいSiウエハ上の硬く薄いDLC膜の強さを、基材に影響されずに 評価することができた事例をご紹介します。 結果、超薄膜のエロージョン率は0.002µm/gで3つの試験部位と 深さ方向共に強さはほぼ一定であることなどが判明しました。 【事例概要】 ■目的 ・硬質超薄膜の強さ特定 ・超薄膜の膜厚の特定 ・軟質基材上の硬質膜の計測可能能力の探索 ■評価 ・膜厚は部位によって差があり、光干渉色と一致していることが判明 ・界面部の強さの変化を可視化 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社パルメソ
- 価格：応相談
