多角アルミナ粒子1.2µmを使用した試験結果を詳しく解説
大変軟らかいSiウエハ上の硬く薄いDLC膜の強さを、基材に影響されずに 評価することができた事例をご紹介します。 結果、超薄膜のエロージョン率は0.002µm/gで3つの試験部位と 深さ方向共に強さはほぼ一定であることなどが判明しました。 【事例概要】 ■目的 ・硬質超薄膜の強さ特定 ・超薄膜の膜厚の特定 ・軟質基材上の硬質膜の計測可能能力の探索 ■評価 ・膜厚は部位によって差があり、光干渉色と一致していることが判明 ・界面部の強さの変化を可視化 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
パラダイムシフトという大きな潮流の中、創造性あふれる研究開発によって、私達の社会に、新たな驚き～価値や技術、次なる効率や品質～を提案し、新たな驚き、そのすべてを世界へと広げ、“ ものづくり”、“コト作り”の大きなネットワークを創造することを目標としています。産業立県・新潟を代表する都市・長岡から世界を覆う、ものづくりのネットワークを広げていきたいと思います。
