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形状測定システム - メーカー・企業と製品の一覧

形状測定システムの製品一覧

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【資料】形状測定入門<光干渉編>

代表的な干渉方式や干渉対物レンズ、光干渉式形状測定システムの特長も解説!

当資料は、光干渉(白色光干渉)測定システムの基本原理や測定方式、 特長、アプリケーションに関する留意点をまとめたものです。 同じ非接触式の形状測定装置として、共焦点式レーザマイクロスコープの 原理、特長もご紹介。 ご一読いただき、本書の内容が少しでもお客様の懸案解決の一助に なりましたら幸いです。 【掲載内容】 ■光干渉とは ■光干渉の基本 ■非接触式形状測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • マイクロスコープ
  • レーザー顕微鏡

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SEMI準拠12'ウエハ厚み・形状測定システム

12'ウエハ全面検査を高速化 ウエハ全数検査にも使用可能

12'ウエハ全面のTTV, Bow, Warpの測定ができます。 最大7万点/秒で測定できるため、XY160umピッチを約2分と短時間で全面測定が可能です。 SEMIに準拠したソフトも揃えた、フルシステムとなります。 使用しているセンサは、弊社の分光干渉センサ2IT DWシリーズより選択でき、Z分解能は1nm~と高精度に測定できます。 ウエハ全面の高速測定を可能にするのは、弊社のエリアスキャナFSS310であり、こちらが組み込まれています。

  • 膜厚計

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