SEMI準拠12'ウエハ厚み・形状測定システム
12'ウエハ全面検査を高速化 ウエハ全数検査にも使用可能
12'ウエハ全面のTTV, Bow, Warpの測定ができます。 最大7万点/秒で測定できるため、XY160umピッチを約2分と短時間で全面測定が可能です。 SEMIに準拠したソフトも揃えた、フルシステムとなります。 使用しているセンサは、弊社の分光干渉センサ2IT DWシリーズより選択でき、Z分解能は1nm~と高精度に測定できます。 ウエハ全面の高速測定を可能にするのは、弊社のエリアスキャナFSS310であり、こちらが組み込まれています。
- 企業：プレシテック・ジャパン株式会社
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
