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反射防止コート、反射膜、各種成膜可能です。 御支給材への成膜、材料～加工～成膜完品でのご提供も可能です。
レンズ、基板等へのARコート、露光装置等に使われる平面鏡用反射膜等、 各種成膜可能です。 お客様材料御支給での成膜、またレンズ、平面基板等も加工可能な為、 図面頂戴出来れば、成膜まで行った完品での納品も可能です。 完品での提供が可能な為、お客様の仕入れと売上のタイムラグを軽減するお手伝いが可能です。 異形物への蒸着も可能です。 蒸着でお困りの事が御座いましたら、 何でもご相談下さいませ。
熱Si酸化成膜、CVD成膜、メタル成膜は当社にお任せください！
株式会社M.T.Cで行っている加工受託サービスについてご紹介いたします。 当社は半導体加工で培った豊富な知識と経験で、MEMS受託加工サービスを 提供しており、成膜工程では熱Si酸化成膜、CVD成膜、メタル成膜を実施。 また、その他にも前処理やフォトリソグラフィー、エッチング、電界メッキ、 接合も行っています。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【加工内容】 ■熱Si酸化成膜 ■CVD成膜 ・SiO2、SiN ■メタル成膜 ・Al、Al-Si、Al-Cu、Cu、Ti、W、Mo ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
