水晶発振式成膜コントローラ CRTM-9100G
低レート蒸着制御や高精度な膜厚制御を実現した水晶発振式成膜コントローラ【アルバック/ULVAC】
CRTM-9100G は低コストと高機能を両立させることをコンセプトに開発された水晶発振式成膜コントローラです。 多層膜の連続蒸着や最大4 元までの同時蒸着制御、低レート制御など、アルバックが水晶発振式成膜コントローラのメーカとして、長年培ってきた技術をすべて搭載しました。各種蒸着プロセスにて、長くお役立ていただけます。 【仕様】 ○外形寸法 W×D×H 480mm×350mm×149mm ○質量 約8kg ○ユーティリティー AC 85 ~ 230V 50/60Hz ○消費電力 60W Max ○使用環境 温度:5 ~ 40℃ 湿度:5 ~ 95% RH(結露なきこと) 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業:株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
- 価格:応相談