単層膜から多層膜まで、幅広い蒸着制御にご使用いただけます。【アルバック／ULVAC】
CRTM-6000Gは成膜コントローラとして求められる基本性能を充実させながら、コストパフォーマンスにも優れた水晶発振式成膜コントローラです。 ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。 【仕様】 ○外形寸法 W×D×H 240mm×350mm×99mm ○質量 約3.6kg ○ユーティリティー AC85 ～ 230V 50/60Hz ○消費電力 30W Max ○使用環境 温度：5 ～ 40℃ 湿度：5 ～ 95％ RH（結露なきこと） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○2センサ接続 →シングルセンサを2本まで接続できる（同時計測は不可、切り替え式） ○高速サンプリング →サンプリングレートが速い（125ms）ため、 レスポンスの良い制御が可能 ○多層膜制御 →最大99層までの連続多層膜制御が可能 ○99種類のデポジションプログラム →最大99種類の蒸着シーケンスをプログラム／メモリが可能 ○最大30個のプロセスプログラム →プロセスプログラムは30個まで本体メモリへ保存可能 ○上位通信 →上位通信用にRS-232Cを標準装備していますので、 PCからの制御が簡単に行える ○プログラマブルデジタル入出力 →12chのデジタル入出力信号がプログラム可能ですので、 装置への接続に自由度が持てる ○3chアナログ出力 →POWERの他、RATE、THKなど計3chの プログラマブルアナログ出力を標準装備している ○きめ細やかな制御 →予備加熱や成膜速度制御がそれぞれ3段階まで入力できますので、 より細やかな制御が行える ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○蒸着時の膜厚および蒸着速度の制御 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。