低レート蒸着制御や高精度な膜厚制御を実現した水晶発振式成膜コントローラ【アルバック／ULVAC】
CRTM-9100G は低コストと高機能を両立させることをコンセプトに開発された水晶発振式成膜コントローラです。 多層膜の連続蒸着や最大4 元までの同時蒸着制御、低レート制御など、アルバックが水晶発振式成膜コントローラのメーカとして、長年培ってきた技術をすべて搭載しました。各種蒸着プロセスにて、長くお役立ていただけます。 【仕様】 ○外形寸法 W×D×H 480mm×350mm×149mm ○質量 約8kg ○ユーティリティー AC 85 ～ 230V 50/60Hz ○消費電力 60W Max ○使用環境 温度：5 ～ 40℃ 湿度：5 ～ 95％ RH（結露なきこと） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○高分解能 →優れた膜厚・成膜速度分解能により、 低レートの制御が必要とされる成膜プロセスにも対応する ○4元同時蒸着制御 →最大4元までの同時蒸着制御が可能（オプションのSSカード追加時） ○MLC（Multi Layer Calculation）機能 →水晶板への成膜履歴を考慮した多層膜計算機能で、 水晶板の寿命付近でも安定した測定を行うことが可能 ○TZC（Tooling, Z-Ratio Calculation）機能 →膜厚の実測値から、最適なToolingとZ-Ratioの計算が可能 ○同期設定・マスタースレーブ →同時蒸着の場合に、各蒸着プロセスごとのタイミングを合わせたり、 成分比を一定にできる ○フレキシブルなデポジションプログラム →パワーやレートの4つのコマンドを組み合わせて、合計30 フェーズまでの蒸着シーケンスを自由にプログラムすることが可能 ○USBへのプログラム保存 →内部メモリー以外に、USBメモリへプログラムを保存できる ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○蒸着時の膜厚および蒸着速度の制御 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。
