水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G
単層膜から多層膜まで、幅広い蒸着制御にご使用いただけます。【アルバック/ULVAC】
CRTM-6000Gは成膜コントローラとして求められる基本性能を充実させながら、コストパフォーマンスにも優れた水晶発振式成膜コントローラです。 ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。 【仕様】 ○外形寸法 W×D×H 240mm×350mm×99mm ○質量 約3.6kg ○ユーティリティー AC85 ~ 230V 50/60Hz ○消費電力 30W Max ○使用環境 温度:5 ~ 40℃ 湿度:5 ~ 95% RH(結露なきこと) 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業:株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
- 価格:応相談