高精度・フレキシブル抵抗率測定システム『VR300DSE-2P』
プローブ駆動コントロール機構により、極薄膜、極浅イオン注入層を高精度測定。
『VR300DSE-2P』は、当社のコア技術であるプローブ駆動コントロール システムにより、シリコンウェーハ、磁性体薄板など導電性試料の抵抗率、 シート抵抗を高精度に測定することを実現したフルオートタイプの 四探針測定器です。 また当社では、全機能搭載モデルの「VR300DSE」や、卓上型モデル 「VR300DE」「VR250」などもご用意しております。 【特長】 ■プローブ駆動をレシピにてセットアップ可能 ■高スループット化によるCoOの低減 ■2ロードポート対応 ■プローブ針先端の自動コンディショニング機能搭載 ■抵抗率分布の等高線マップ、三次元マップ等を作図可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社国際電気セミコンダクターサービス
- 価格：応相談
