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拡散炉(酸化) - 企業2社の製品一覧

製品一覧

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Φ300mm対応縦型拡散炉

Φ300mm対応縦型拡散炉

Φ300mmに対応した縦型の拡散炉です。 【特長】 ◆オペレータフレンドリーな自社開発新型コントローラ搭載 ◆無駄のない全自動搬送システム ◆高機能制御システム ◆高性能LGOヒータ搭載

  • 酸化/拡散装置

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電気炉 大型拡散炉

主に半導体の熱処理研究を目的として設計

各種の炉を一つの装置にパッケージすることで省スペースで機能的に使用できるシステムです。

  • 電気炉

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