分類カテゴリから製品を探す
業種から企業を探す
ブックマークに追加いたしました
ブックマークを削除いたしました
これ以上ブックマークできません
会員登録すると、ブックマークできる件数が増えて、ラベルをつけて整理することもできます
ＶＦ−５９００
最終更新日：2010年10月01日
Φ３００ｍｍに対応した縦型の拡散炉です。 【特長】 ◆オペレータフレンドリーな自社開発新型コントローラ搭載 ◆無駄のない全自動搬送システム ◆高機能制御システム ◆高性能ＬＧＯヒータ搭載
Φ３００ｍｍ対応縦型拡散炉
-
◆酸化（パイロジェニック酸化・ドライ酸化） ◆拡散（POCl3） ◆ＬＰＣＶＤ（Poly-Si・Si3N4・P-Doped-PS） ◆Cuアニール ◆Low-kキュア ◆ポリイミドキュア ◆アニール など
製品・サービス一覧 (8)
