Φ３００ｍｍ対応縦型拡散炉

ＶＦ−５９００

最終更新日：2025年06月04日

Φ３００ｍｍに対応した縦型の拡散炉です。【特長】 ◆オペレータフレンドリーな自社開発新型コントローラ搭載 ◆無駄のない全自動搬送システム ◆高機能制御システム ◆高性能ＬＧＯヒータ搭載

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◆酸化（パイロジェニック酸化・ドライ酸化） ◆拡散（POCl3） ◆ＬＰＣＶＤ（Poly-Si・Si3N4・P-Doped-PS） ◆Cuアニール ◆Low-kキュア ◆ポリイミドキュア ◆アニール　など

電子部品・半導体

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ジェイテクトサーモシステムは、軸受（ベアリング）材料向けの熱処理装置の製造・販売から事業をスタートしました。以降、現在に至るまで、技術革新や産業構造の変化に素早く対応し、金属だけにとどまらず、半導体や電子部品、ディスプレイなど、多様な製造装置の開発に取り組んでまいりました。