主に半導体の熱処理研究を目的として設計
各種の炉を一つの装置にパッケージすることで省スペースで機能的に使用できるシステムです。
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基本情報
【特徴】 ○４連式拡散炉（ＡＲＦ－１１２－４型） ○単式拡散炉（ＡＲＦ－１５３Ｗ型） ○単式拡散炉（ＡＲＦ－１５０型） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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用途／実績例
半導体の熱処理研究 （ドライ酸化、ウエット酸化、拡散、還元、一般処理等）
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企業情報
弊社は管状（チューブ）炉、電気炉の製造メーカーです。千葉県を拠点に２５年間電気炉に携わってきました。拡散炉やアニール炉、置換炉などのご提案、設計、製作も行っていますのでお気軽にご相談下さい。独創的なアイデアと数多くのノウハウでお客さまからのご期待にお答えするとともに、確かな満足をお届けすることをお約束いたします。