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単結晶ダイヤモンドバイトによる変動量10nm以下の超精密切削加工！
・超精密・微細加工に適した楕円振動切削加工装置として、1〜2μm程度の振幅で39.8kHzの高周波数において、振動軌跡を超精密に安定化（変動量10nm以下）し得る高精度楕円振動制御装置を開発しました。 ・約40kHz振幅2.5×2.5μmp-pの真円振動で3日間という長時間に亘って安定して継続し、発熱も極わずかであることを確認しました。 ・構造を簡素化、且つ高剛性化を図り、更に振動子ケース内及び刃先部分を冷却空気が流れて、全体の温度上昇を抑制する空冷装置を設け、小型軽量化したケースを完成させました。 ・人為的な微調整をほとんど必要とせず、実用的な高振幅の楕円振動を長時間安定して制御することが可能になり、従来の単振動型超音波振動切削装置と同じ感覚で楕円振動切削を扱えるようになりました。 ※詳細はお問い合わせください
第27回 精密工学会技術賞受賞！超精密微細加工用[テクスチャ加工対応型]
振動切削法とは刃先を超音波振動させる事で、切削が間欠となり、切削抵抗を著しく低下させることができる加工方法です。 たわみ振動モードと縦振動モードにより刃先を円または楕円振動させると切削抵抗が1/5以下に低下し、特に背分力はほとんど零となり、ダイヤモンドバイトでSTAVAXの超精密切削が可能となります。 超音波楕円振動切削装置『EL-50Σ』を用いれば、今まで不可能とされていた高硬度金型の超精密微細加工を実現することが可能となります。 【特徴】 ○複雑な電気的調整作業を全く行う必要が無い →コントローラーの電源スイッチをいれるだけで、 超精密楕円振動切削加工が可能 ○発振周波数を41kHzと高周波化 →楕円振動子は手のひらに乗るほど小型化 ○振動子ケースは高剛性構造 →刃物台への設置も簡単 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
