ウェーハ搬送装置『PWT2020』
5枚単位・25枚単位の搬送も対応可能！誤操作防止センサ、緊急停止ボタン付
『PWT2020』は、クリーンロボットを応用したウェーハ搬送装置です。 カセットからウェーハを持ち上げてロード/アンロードを行うため カセットとの接触を最小限に抑え、摩耗・発塵・ウェーハ端部の損傷を防止。 ウェーハマッピングにより、ウェーハの位置ズレ、二枚重ねなどの ローディングエラーを検知します。 【特長】 ■省スペース ■静電気対策型 ■光および機械センサーでエラーを監視 ■マッピングセンサー付き ■FOUP・FOSB・H-Square社製メタルカセットに対応 ■クラス10クリーンルーム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：PHT株式会社
- 価格：応相談
