5枚単位・25枚単位の搬送も対応可能！誤操作防止センサ、緊急停止ボタン付
『PWT2020』は、クリーンロボットを応用したウェーハ搬送装置です。 カセットからウェーハを持ち上げてロード/アンロードを行うため カセットとの接触を最小限に抑え、摩耗・発塵・ウェーハ端部の損傷を防止。 ウェーハマッピングにより、ウェーハの位置ズレ、二枚重ねなどの ローディングエラーを検知します。 【特長】 ■省スペース ■静電気対策型 ■光および機械センサーでエラーを監視 ■マッピングセンサー付き ■FOUP・FOSB・H-Square社製メタルカセットに対応 ■クラス10クリーンルーム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【導入事例】 ■簡易的にウェーハを搬送したい ■カセット内ワークの擦れを抑えたい ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■装置メーカーが使用するケース ・デバイスメーカーから評価用のウェーハがFOSB(出荷用ケース)で支給される ・装置メーカーのシステムに使うキャリア(例えばFOUP)への移載を行う ・評価後のウェーハをFOSBに移載する(デバイスメーカーへ返却) ■ウェーハメーカーが使用するケース ・完成ウェーハ(最終洗浄・検査完了後)をFOSB(出荷ケース)に移載する ・プロセス(洗浄工程等)間で、PFAキャリア(洗浄用キャリア)に移し替える ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。 特徴 PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。 PHTはこれまでシリコンウェーハの搬送やレーザ加工技術を活用して次世代SiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）材料をはじめ、化合物半導体向け搬送及び洗浄ソリューション（ロボット・搬送「搬送装置あるいは移載装置、EFEM、SORTER」・自動剥離洗浄装置・洗浄装置）を提案し、特にパワー半導体市場へ積極的にアプローチをしております。当社は、省エネ向け（電気自動車、電力制御）の半導体製造装置へ総合ソリューションの提供体制を創出しています。
