クロスビームFIBによる断面観察
FIB加工をリアルタイムで観察しながら断面観察が可能です。
半導体デバイス、MEMS、TFTなどナノスケールの精度で製造される エレクトロニクス製品の構造解析を行うための新たな手法: クロスビームFIBにより断面観察をご提案いたします。
- 企業:株式会社アイテス
- 価格:応相談
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FIB加工をリアルタイムで観察しながら断面観察が可能です。
半導体デバイス、MEMS、TFTなどナノスケールの精度で製造される エレクトロニクス製品の構造解析を行うための新たな手法: クロスビームFIBにより断面観察をご提案いたします。
破断部の断面観察や、破断部の元素マップなど掲載しています!
当資料は、太陽電池モジュールの断面観察についてご紹介しています。 冷熱衝撃試験を行なった太陽電池モジュールを検査し、異常が特定された 箇所の断面観察を行なったところ、インタコネクタ半田付け部が破断している ことが確認されました。 【掲載内容】 ■破断部の断面観察 ■破断部の元素マップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
一長一短な特長があるためサンプル形態や観察範囲、目的などに応じて選択する必要があります!
当社にて、A社製のVRゴーグルに付随のCMOSイメージセンサ部品について、 部品状態のまま機械研磨にて断面を作製し、CMOSセンサ部品の構造観察を 行いました。 センサ部品構造及びセンサ表面観察では、ガラスフィルタを取り除き CMOSセンサ表面を観察すると、カラーフィルタの配置がベイヤーフィルタと 言われる配置であることが観察されました。 断面作製方法には機械研磨の他、FIBやCPなどイオンビームで加工する方法や ミクロトーム法などがあります。相談は無料ですので、断面作製方法に 迷ったらお気軽にご連絡ください。 【概要】 ■センサ部品構造及びセンサ表面観察 ■機械研磨による断面作製 ■センサチップ表層のSEM観察 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
脱粒などの微細構造を壊さずに断面構造や元素の分布を確認可能!
当社で行う「自動車用バンパー塗装膜の断面観察」についてご紹介します。 自動車用バンパーの塗装膜は数種類の塗料を用いた多層構造になっています。 一般的な機械式研磨加工による断面観察では、添加されている微粒子の 脱粒などが発生し、その正しい構造が確認できません。 イオンミリング法(Ar+イオンビーム)を用いて加工することで、脱粒などの 微細構造を壊さずに断面構造や元素の分布を確認することができます。 【特長】 ■SEM観察により、塗装膜の多層構造および添加微粒子を明瞭に確認可能 ■元素分析を併用することで、各添加粒子の分布を明瞭に確認可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。