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小型基板から大型液晶板までの枚葉及び平送り洗浄ツールです。
ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインスコール』は、大型液晶ガラス洗浄に最適なバー型高スループットタイプです。洗浄エリアは2210mmまでセレクト可能で、液晶ガラス等の枚葉式洗浄に最適です。バー型、ノズル噴射の洗浄方式で、洗浄液は空中でのノズル噴射式のため、洗浄槽液内での再汚染がありません。微細な出力調整ができ1W刻みの安定した出力調整が可能です。通信機能も強化され、発振器状態の監視、外部設定が可能になります。各種規格（FCC/CE/RoHS）にも対応しております。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
RCAは勿論、現像、エッチング、洗浄、剥離、リフトオフなど！各種プロセス処理に対応実績多数
当装置は、薬液の完全分離・再利用を達成し、薬液処理⇒リンス⇒乾燥の フルプロセスをワンスピン処理可能なマニュアルSpin枚葉処理装置です。 フットプリントやコストの大幅な削減ができ、《特許取得成立済み》 丸形状の基板は勿論、角形状基板にも対応可能。 「RCA」は勿論、「現像」「エッチング」「洗浄」「剥離」「リフトオフ」 と言った各種プロセス処理に対応実績多数です。 【特長】 ■洗浄やエッチング等多種の薬液処理プロセスを一つの トータルシステムに纏める事が可能 ■大幅な装置購入コストやフットプリント低減ができる ■チャンバー間の移送が不要な為、ワーク着脱削減・省力化により ワーク搬送事故を防止でき搬送信頼性が向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ウエハ、枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造装置、半導体、レジスト剥離装置、メガソニック、洗浄装置、レジスト、フォトレジスト、フォトリソ工程、シリコン、スクラブ洗浄装置、スクラブ洗浄、ウエハ剥離装置、ウエハ洗浄装置、ウエハ洗浄機
低価格、しかも高性能なWet処理装置のことなら、弊社にお任せください。
株式会社ＭＴＫより、LED・半導体・MEMS製造用『Wet処理装置』のご案内です。
多種多様なニーズに柔軟に対応！クリーンルーム使用の洗浄機分野で実績多数！
『枚葉式洗浄装置』は、1.5インチから10世代まで対応可能な大型セル対応の洗浄装置です。 大型化に伴い、新たな問題点(ギャップ部の洗浄・乾燥)を重点課題に、洗浄ユニット (ブラシ、HPMJ、2流体など)を組み合わせ、乾燥でもエアーナイフ、スポットナイフ、 IRなどを組み合わせることにより、より優れた洗浄と乾燥を実現しています。 また、メンテナンス性、コストパフォーマンスにおいても優れた装置になっています。 PC・テレビ等の液晶パネル、自動車ガラス、ソーラーパネル等に適しています。 【特長】 ■1.5インチから10世代まで対応 ■より優れた洗浄と乾燥を実現 ■メンテナンス性に優れている ■優れたコストパフォーマンス ■多種多様なニーズに柔軟に対応 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
多種多様なニーズに柔軟に対応！クリーンルーム使用の洗浄機分野で実績多数！
『枚葉式洗浄装置』は、1.5インチから10世代まで対応可能な大型セル対応の洗浄装置です。 大型化に伴い、新たな問題点(ギャップ部の洗浄・乾燥)を重点課題に、洗浄ユニット (ブラシ、HPMJ、2流体など)を組み合わせ、乾燥でもエアーナイフ、スポットナイフ、 IRなどを組み合わせることにより、より優れた洗浄と乾燥を実現しています。 また、メンテナンス性、コストパフォーマンスにおいても優れた装置になっています。 PC・テレビ等の液晶パネル、自動車ガラス、ソーラーパネル等に適しています。 【主な洗浄方式】 ■接触式：ロールブラシ、ディスクブラシ ■非接触式：中圧シャワー、高圧シャワー、2流体シャワー、 US（低周波・中周波）、MS(高周波） ■ドライ：紫外線照射（エキシマ・低圧水銀）、プラズマ照射、超音波 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最高クラスの技術力を誇る島田テクノロジーがお客様の洗浄ニーズに応えます！
洗浄装置全般のプロフェッショナル・島田テクノロジー株式会社の総合カタログです。 フラットパネルディスプレイ、半導体デバイス、光学レンズ、電子デバイスをはじめ、 微細化・多様化か進むあらゆる製造プロセスへ精密洗浄システムを提供します。 【掲載製品】 ■枚葉式洗浄装置 ■バッチ型洗浄装置 ■フラットパネル用洗浄装置 ■メガネレンズ用洗浄装置 ■光学部品用洗浄装置 ■金属部品用洗浄装置 ■電子部品用洗浄装置 ■超音波発振器/超音波振動子 その他、金属部品洗浄装置や液晶用ガラス用洗浄装置などの取り扱いや、 既存装置の修理・改造から新規装置の製造販売まで何でもご相談下さい。 お客様の用途に合わせてカスタムメイドした洗浄装置を提供致します。 ～ 簡単な洗浄テストも可能 ～ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
