検査ツール『BMW-1200R』
デバイスプロセスの安定化を強力にサポートする必須の検査ツール！
『BMW-1200R』は、デバイス工程中、ウェーハ裏面に発生する微小凹凸 欠陥（チャック痕・放電痕・打痕・接触痕等）を高感度・高速に検出する 検査ツールです。 露光・CMP等の後続プロセスでの歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかに マップ化します。 また、レビューステーションでは、マクロ検査で抽出された候補ウェーハ内 の個別欠陥に対し、レーザー顕微鏡による三次元自動測定を行い欠陥P-V値 等の詳細データをユーザに提供します。 【特長】 ■裏面全面検査（EE＝1mm） ■画像処理とマスクによる候補欠陥抽出 ■高いスループット ■広いダイナミックレンジ ■自動欠陥レビューと自動3D計測 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社オプティマ https://www.optima-1.co.jp/
- 価格：応相談
