デバイスプロセスの安定化を強力にサポートする必須の検査ツール！
『BMW-1200R』は、デバイス工程中、ウェーハ裏面に発生する微小凹凸 欠陥（チャック痕・放電痕・打痕・接触痕等）を高感度・高速に検出する 検査ツールです。 露光・CMP等の後続プロセスでの歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかに マップ化します。 また、レビューステーションでは、マクロ検査で抽出された候補ウェーハ内 の個別欠陥に対し、レーザー顕微鏡による三次元自動測定を行い欠陥P-V値 等の詳細データをユーザに提供します。 【特長】 ■裏面全面検査（EE＝1mm） ■画像処理とマスクによる候補欠陥抽出 ■高いスループット ■広いダイナミックレンジ ■自動欠陥レビューと自動3D計測 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
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【メリット】 ■微小凹凸欠陥を高感度・高速に検出 ■欠陥情報を速やかにマップ化 ■デバイスプロセスの安定化を強力にサポート ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
株式会社オプティマは、半導体ウェーハ検査装置・測定装置の販売を行っている会社です。主に半導体検査装置・産業機械・中古装置・マクロ検査、製造装置・研磨装置・洗浄装置などを取り扱っております。お客様のご要望にお答えいたしますので、お気軽にお問い合わせください。