半導体製造のすべてを支える、X線検査のトータルソリューション
ラボからファブへ、ウエハからチップへ、検査戦略を次のステージへ導くComet Yxlonの非破壊検査装置
2.5D/3D X線検査で、半導体業界の検査戦略に革新をもたらします。 非破壊かつ高解像度のイメージング技術により、歩留まり・信頼性・性能に関わる重要なポイントを、これまで以上のスピードで可視化。 特に高度なパッケージングや小型デバイスにおいて、その力を最大限に発揮します。 ▶Comet のソリューション ・前工程プロセス開発 ・ウエハ生産 ・後工程プロセス開発 ・チップ生産