ラボからファブへ、ウエハからチップへ、検査戦略を次のステージへ導く。
2.5D/3D X線検査で、半導体業界の検査戦略に革新をもたらします。 非破壊かつ高解像度のイメージング技術により、歩留まり・信頼性・性能に関わる重要なポイントを、これまで以上のスピードで可視化。 特に高度なパッケージングや小型デバイスにおいて、その力を最大限に発揮します。 Comet のソリューション ▸前工程プロセス開発 ▸ウエハ生産 ▸後工程プロセス開発 ▸チップ生産
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基本情報
《CA20》 ・ウエハおよびパッケージチップのX線検査に対応 ・サブミクロンレベルの 2D/3D 画像を高速で取得 《FF35 CT Semi》 ・研究開発および品質保証向けラボ用CTソリューション ・ウエハクーポン、ダイ、組立済みチップのサブミクロンレベルの高解像度撮影 《Cheetah EVO / Cougat EVO》 ・2D/2.5D、3Dラミノグラフィ―およびCT撮影に対応する高精細で柔軟性の高いX線システム ・研究開発および従来型パッケージング環境での工程内検査に対応
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納期
用途／実績例
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ラインアップ（4）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| CA20 | ウエハおよびパッケージチップのX線検査 |
| FF35 CT | 研究開発および品質保証向けラボ用CTソリューション |
| Cheetha EVO | 研究開発および従来型パッケージング環境での工程内検査に対応 |
| Cougar EVO | 研究開発および従来型パッケージング環境での工程内検査に対応 |
カタログ（4）
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企業情報
Comet Yxlon(コメット・エクスロン)はフィリップス社の工業用X線事業を引き継いで、1998年に設立されたエクスロン・インターナショナルのＸ線事業を継承しているブランドです。 ドイツのハンブルクに開発・製造拠点を持ち、世界中のお客様にＸ線検査装置を提供している専門メーカーです。2007年にスイスのテクノロジー企業であるコメットグループの一員となり、2022年にはブランド名をYXLON（エクスロン）からComet Yxlon(コメット・エクスロン)へ変更しました。 X線検査装置は主にエレクトロニクス業界、オートモーティブ業界、エアロスペース業界のアプリケーションに幅広く採用いただいており、高分解能ナノフォーカスＸ線検査装置から高出力大型ＣＴまで幅広いラインナップを取り揃えております。また、加熱観察オプションやAIを使ったボイド抽出、3次元ボリューム解析など関連の技術も豊富に取り揃えており、経験豊富なスタッフがお客様の非破壊検査、故障解析に関する問題解決に日々取り組んでおります。 横浜のアプリケーションラボには大小様々なデモ機を常設しており、お客様のサンプル評価、立合いテストに対応しております。
