検査装置『ウェハクラック・エッジ検査装置』
当社独自の光学系・撮像技術で高速・高検出能力を発揮する検査装置！
『ウェハクラック・エッジ検査装置』は、1台で複数種の欠陥を検出する事が 可能な検査装置です。 目視検査では発見し辛いウェハのクラック、また、ウェハ外周のエッジ 欠損を、高速に撮像、検出できます。 当社では低価格にてご提供しておりますので、お気軽に お問い合わせください。 【特長】 ■低価格 ■高速・高検出能力 ■1台で複数種の欠損の検出に対応 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社昭和電気研究所
- 価格：応相談
