当社独自の光学系・撮像技術で高速・高検出能力を発揮する検査装置！
『ウェハクラック・エッジ検査装置』は、1台で複数種の欠陥を検出する事が 可能な検査装置です。 目視検査では発見し辛いウェハのクラック、また、ウェハ外周のエッジ 欠損を、高速に撮像、検出できます。 当社では低価格にてご提供しておりますので、お気軽に お問い合わせください。 【特長】 ■低価格 ■高速・高検出能力 ■1台で複数種の欠損の検出に対応 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【検出可能欠損】 ■クラック検査 ・クラック ・ディンブル ・ソーマーク ・スリップ ・マウンド・隆起 ■エッジ検査 ・クラック ・キズ ・膜残り ・チッピング ・異物 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社昭和電気研究所は、画像処理装置や非破壊検査計測装置、各種検査装置など計測・制御に重点を置いた研究開発型電子機器メーカーです。「ACF接合検査装置」や「ウェハ検査装置」といった製品を取り扱い、ハード、ソフトの開発から製作、メンテナンスまで一貫体制を確立しております。また、特定ユーザー向け製品の開発並びに委託製造も承りますので、お気軽にお問い合わせください。