ウェーハ表面パーティクルスキャナ ＹＰＩ－ＭＸーＤＣ
次世代パワー半導体ウェーハSiC/GaN用パーティクル検査装置
ノンパターンSiCバルクウェーハ 0.1μm検出。 微小スクラッチ検出。 SiCやGaNウェーハの洗浄確認に最適です。 自動搬送とマニュアル搬送が選択できます。 顕微鏡観察機能で測定後のレビューができます。
- 企業：株式会社山梨技術工房
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
欠陥検査装置(パワー半導体) - メーカー・企業と製品の一覧
欠陥検査装置の製品一覧
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