水中での膜厚測定されたい方必見!水中膜厚計『FF8』
空気中と水中でSi基板上のSiO2膜(シリコン酸化膜)を測定!薄膜解析オプションによりカーブフィット法による測定が可能です。
『FF8』は、サンプルの反射率(干渉波形)を測定し、 膜厚演算方法の中のFFT(フ-リエ変換膜厚計)や、 カーブフィット膜厚計等によって 膜厚値の解析を行う非接触水中膜厚計です。 膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、 オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・ 色測定・成分濃度解析も可能です。 空気中と水中でSi基板上のSiO2膜(シリコン酸化膜)を測定でき、 薄膜解析オプションによりカーブフィット法による測定が可能です。 【特長】 ■サンプルの反射率を測定し、FFT等によって膜厚値の解析を行う ■膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行える ■測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能 ■インライン膜厚測定としてもご使用頂ける ■カスタム仕様等の対応も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社システムロード
- 価格:応相談