高周波超音波洗浄処理システム
最小0.1μmからのパーティクルを除去！半導体ウェハなどの洗浄に
当製品は、微細凹凸部のダストを超音波で除去する 高周波超音波洗浄処理システムです。 半導体ウェハやマスクなどの洗浄に使用いただけます。 ノズル噴射式、洗浄槽内投込み式、その他の洗浄処理システムを ラインアップしています。 【特長】 ■微細凹凸部のダストを超音波で除去 ■400kHz～5MHzのトランスデューサを備える ■最小0.1μmからのパーティクルを除去 ■ノズル噴射式、洗浄槽内投込み式などをラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：光進電気工業株式会社 光進ミニモディビジョン
- 価格：応相談
