最小0.1μmからのパーティクルを除去！半導体ウェハなどの洗浄に
当製品は、微細凹凸部のダストを超音波で除去する 高周波超音波洗浄処理システムです。 半導体ウェハやマスクなどの洗浄に使用いただけます。 ノズル噴射式、洗浄槽内投込み式、その他の洗浄処理システムを ラインアップしています。 【特長】 ■微細凹凸部のダストを超音波で除去 ■400kHz～5MHzのトランスデューサを備える ■最小0.1μmからのパーティクルを除去 ■ノズル噴射式、洗浄槽内投込み式などをラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【洗浄対象例】 ■半導体ウェハ ■マスク ■LCD ■サブストレート ■MEMS ■太陽光関連 ■微細構造部品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
光進電気工業は、1948年に自然計測事業を目的に創業いたしました。爾来、独創的な技術と卓越した想像力で時代に即した新製品を開発し、気象・水文・地象の分野においてセンシングから伝送、さらにデータ処理にいたる総合観測システムへ進化させ社会にお役立てしてまいりました。この事業で培われた精神は“美しい地球を明日の世代に継承すること”が全社員の願いであり、そのことが社風となっています。