洗浄装置 「有機ELマスク洗浄装置」
環境にやさしい低排出、低ランニングコストを実現
洗浄力が高く評価されているOEL-Cleanシリーズの使用とそれを活用する多くのノウハウでメタルマスクに蒸着された有機材料を確実に制御でき、新品マスクと変わらない品質に仕上げます。 安全、安心、環境、洗浄精度、経済性、生産性を最大限に取り入れました。 リンス・乾燥には不燃性溶剤のHFEを使用する為、安全です。 HFE溶剤も蒸留機とHC/HFE分離装置により、洗浄液とHFE溶剤は新液として蘇り、再利用されます。 【特徴】 ○薄膜のマスクは熱応力に弱く、 熱ストレスを無くすために常温で洗い上げることでこれを実現 ○蒸留機の搭載により、洗浄液は新液として蘇り、汚れ成分は 凝縮して少量の廃液として排出するため、従来の全量液交換は不要 ○有機ELガラス基板の洗浄装置も開発 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：大川興産株式会社
- 価格：応相談
