環境にやさしい低排出、低ランニングコストを実現した洗浄機
有機ELパネル製造ラインで使用される蒸着用メタルマスクを、新品同様の品質へ再生する量産対応洗浄装置(特許取得済)です。 洗浄後溶剤は蒸留・分離機構で自動再生、常時新液状態を維持。 廃液量は極少で、低ランニングコストと低環境負荷を両立。 HFE溶剤も蒸留機&HC/HFE分離装置により再生・再利用可能。 日本・台湾・中国の有機ELメーカーで多数採用され、スマート フォン向けパネルの歩留まり向上と製造コスト削減に貢献。 【特徴】 〇洗浄方式は独自の“コ・ソルベント方式”を採用。 〇使用したHC溶剤は内蔵の真空蒸留装置により有機物を分離・ 排出後、洗浄工程へ循環再利用されます。 〇洗浄を終えたメタルマスクはリンス・乾燥工程へ搬送、 リンス後は低真空の真空乾燥工程で仕上げます。 〇使用するHC・HFE溶剤はいずれも蒸留装置・回収装置を 経由して再利用され、ランニングコストを大幅に低減。 蒸留機の搭載により、洗浄液は常に新液状態を維持し、 汚染成分は凝縮・分離されて少量の廃液として排出されます。 ※従来の全量液交換は不要
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基本情報
【基本情報】 〇洗浄方式 :コ・ソルベント方式(炭化水素系HC+不燃性HFEの2液構成) 〇動作温度 :常温(熱応力ゼロ)・昇温(対応可) 〇リンス・乾燥 :HFE溶剤による減圧乾燥 〇再生機構 :蒸留機+HC/HFE分離装置による溶剤自動再生 〇廃液量 :汚染成分のみ凝縮排出(全量交換不要) 〇安全性 :IPAを使わず、不燃性溶剤の採用により、IPA供給装置不要 〇対象ワーク :有機EL蒸着用メタルマスク(高精細 / 薄膜マスク対応) 〇装置ラインナップ:量産対応(自動枚葉式 / 自動タクト送り式)、R&D向け手動式 〇導入実績 :日本 / 台湾 / 中国のディスプレイメーカーなど 〇特長まとめ :環境配慮 / 蒸留再生 / 低コスト / 高信頼性 / 量産実績あり ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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弊社は創業以来、フッ素系洗浄装置メーカーとして業界を リードしてまいりました。 フッ素系溶剤の特性を活かした洗浄・乾燥システムに加え、 独自開発の溶剤回収機により純度99%以上の再生を実現し、 溶剤使用量の削減に貢献しています。 当社が最も力を注いでいるテーマは、以下の3つです。 1⃣ 溶剤消耗量の削減: 独自の廃液回収装置「OK-GREEN1(特許出願済)」により、 正確な溶剤管理と投資判断支援を実現。 2⃣ 敏速な保守・点検: 年間定期点検を通じて迅速・安価・確実なメンテナンスの提供。 3⃣ 正確な情報提供: 溶剤メーカーと連携し、10年先を見据えた最適な洗浄提案実施。 フッ素系溶剤だけでなく、炭化水素系・水系溶剤を用いた装置も 手掛けており、「環境・安全・品質」の三位一体を軸にお客様の ご要望に応じた最適な洗浄システムの開発に取り組んで参ります。










